Зеленоградское предприятие "НИИМЭ и Микрон" закончило научные и технологические работы по созданию микросхем по технологии 65-нм. Тестовые образцы таких транзисторов и кольцевых генераторов сошли с конвейера в декабре 2013 года, сообщил генеральный директор компании Геннадий Красников. В апреле "Микрон" планирует выпустить свои первые изделия по новой технологии — память на 16 Мб. "С одной стороны, это достаточно простые изделия, а с другой — почти 100 миллионов транзисторов на кристалле позволяют хорошо оценить процент выхода годных изделий", — отметил Красников.
Переход на новых технологический процесс позволит сократить энергопотребление чипов и их габариты за счет большего числа элементов на единицу площади. В технологическом процессе 65-нм производства "Микрона" используется ультрафиолетовая фотолитография с длиной волны излучений 193 нм, которая применяется для серийного производства 90-нм чипов. Однако помимо изменения настроек устройств была докуплена и новая аппаратура.
Помимо собственных инвестиций "Микрона", средства поступали в рамках федеральной целевой программы (ФЦП) Минпромторга по развитию российской микроэлектроники. По оценке Красникова, в целом до третьего квартала 2014 года общий объем вложений, который позволит довести линии до промышленного производства микросхем, составит 3 миллиарда рублей. Из них около 1 миллиарда потребовала доработка технологий, а 2 миллиарда — создание инфрастурктуры, то есть закупка оборудования.
В конце лета Красников намерен предоставить правила проектирования по технологии 65-нм сторонним дизайн-центрам, чтобы те могли формировать свои заказы для "Микрона". Сейчас линия выпускает около 3,5 тысячи пластин в месяц по технологии 90-нм. Из заказчиков Красников называет МЦСТ (производит процессор "Эльбрус"), НТЦ "Элвис" (цифровые сигнальные процессоры, микросхемы памяти и так далее), НИИМЭ "Прогресс" (приемники ГЛОНАСС/GPS).
